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films prepared by reactive sputtering deposition山本 春也; 箱田 照幸; 宮下 敦巳; 吉川 正人
Materials Research Express (Internet), 2(2), p.026401_1 - 026401_8, 2015/02
被引用回数：4 パーセンタイル：14.5(Materials Science, Multidisciplinary)有機ハイドライド(シクロヘキサン等)は、水素を可逆的に放出・吸蔵できることから水素の貯蔵・輸送媒体として有望視されている。しかし、揮発した有機ハイドライドは、可燃性ガスであるため、漏洩する有機ハイドライドを安全に検知するセンサーの開発が求められている。本研究では、揮発した有機ハイドライドを光学的に検知できる材料の開発を目的に、反応性スパッタリング法を用いて石英基板上に三酸化タングステン膜を成膜時の基板温度(300
550
C)及び膜厚(2
m)をパラメータに作製し、濃度5%のシクロヘキサンに対する着色特性を系統的に調べた。その結果、基板温度が400450Cで形成される(001)結晶配向した柱状構造から成る厚さ1m程度の三酸化タングステン膜が光学検知に適していることを明らかにした。
山本 春也
no journal, ,
次世代のエネルギー源として期待されている水素は、水素燃料電池自動車などの普及に伴い、今後その利用の拡大が見込まれている。しかし、水素は、無色・無臭の可燃性ガスであるため、安全に検知する技術開発が必要とされている。原子力機構では、水素と触れることによって着色する水素検知材料の研究開発を実施し特許化した。本発表では、着色材料として三酸化タングステンを用いた水素検知材料について、反応性スパッタ蒸着法を用いた三酸化タングステン膜の作製方法、水素に曝したときの着色特性、
線照射よる着色特性への影響、さらに光ファイバーと組み合わせたファイバーセンサー等への応用など、権利化した特許の内容及び産業利用への展開について発表する。
